A Study on Device Characterization of Polycrystalline-Sillicon Thin-Film Transistors

Hiroyuki Ikeda

　この本は、筑波大学大学院に提出した工学博士学位論文を商業出版したものです。一般に日本の大学に提出した学位論文は大学図書館と国会図書館に保管され、一般の方の目に触れる機会は殆どないに等しい状況です。一方、留学経験のある方に聞いた話では、ドイツでは学位論文はそのまま商業出版させるそうです。学位論文をプロとして初めて書く専門書籍として扱う施策に感銘を受け、出版を思い立ちました。グローバル時代を反映し、言語は英語を選択しました。
内容は、近年幅広く利用されている液晶ディスプレイ、特に、デジカメや携帯電話に使われる精細度の高い液晶に使われるトランジスタ技術に関するものです。そのトランジスタはシリコンの薄膜を真空中でガラスに成膜して、レーザー照射して溶かすことで結晶性を高めて電流の流路とするのですが、作製条件により出来上がるトランジスタ性能が多様です。この背景にある物理現象解明とその挙動のモデル化が論文の骨子です。
液晶の原理から説き起こし、半導体の電気伝導機構、光照射下の伝道、回路シュミレーションまで網羅しており、半導体に関心のある方に一読いただければ幸いです。